Giải pháp kiểm tra quang học đĩa bán dẫn (wafer) cho sản xuất bề mặt sản phẩm bán dẫn
26.05.2020
Thông tin dự án
Trong quá trình sản xuất bề mặt sản phẩm bán dẫn, quá trình làm phẳng bề mặt CMP (làm phẳng hóa cơ, hóa học) với sự kết hợp của các lực hóa học và cơ học đôi khi dẫn đến hư hỏng bề mặt như các vết nứt và trầy xước. Để giải quyết và giảm thiểu các rủi ro này một cách hiệu quả thì nó đòi hỏi phải có hệ thống kiểm tra bằng thị giác máy không tổn hại, không tiếp xúc, sóng dài để kiểm tra độ tinh khiết bề mặt và độ phẳng. Advantech cung cấp giải pháp thị giác máy tổng thể bao gồm các cảm biến hình ảnh cấp công nghiệp, máy tính điện toán cấp cao, bộ xử lý đa lõi và phần mềm ứng dụng VisionNavi cho giao diện thân thiện với người dùng. Nó có thể đơn giản hóa việc phát triển và triển khai ứng dụng, các nhánh và vòng lặp cho các ứng dụng tầm nhìn tiên tiến, hỗ trợ nhiều tác vụ và camera với global shutter để cung cấp hệ thống sản xuất chất bán dẫn chính xác và hiệu quả.
Yêu cầu hệ thống
Khách hàng là một công ty sản xuất đĩa bán dẫn (wafer) hàng đầu trong ngành công nghiệp bán dẫn, yêu cầu một hệ thống kiểm tra có thể xác định vị trí hư hỏng và các khuyết tật trong quá trình CMP. Do các vật liệu đặc trưng của tấm wafer, việc kiểm tra tầm nhìn cảm ứng không phá hủy, không tiếp xúc, song dài đối với độ tinh khiết bề mặt và độ phẳng là rất cần thiết. Hệ thống kiểm tra tầm nhìn cần được đồng bộ hóa với hệ thống xử lý robot tự động để tăng năng suất. Mục tiêu của thiết bị kiểm tra tầm nhìn nội tuyến là cung cấp phân tích độ chính xác cao trong khi vẫn duy trì mức năng suất. Khách hàng đang tìm kiếm một hệ thống hoàn chỉnh có khả năng thực hiện ở tốc độ cao, với việc kiểm tra nội tuyến có độ chính xác cao. Khách hàng cũng muốn giảm nỗ lực cài đặt / bảo trì, vì có nhiều loại tấm wafer và các loại khiếm khuyết khác nhau.
Mô tả hệ thống
Giải pháp thị giác máy biên của Advantech đã được cài đặt như hệ thống CMP. Hệ thống này bao gồm các máy móc CMP, hệ thống xử lý robot, hệ thống kiểm tra tầm nhìn và dữ liệu đường lên cho cơ sở dữ liệu IT. Sau khi các tấm wafer được đánh bóng, các cảm biến vị trí sẽ gửi tín hiệu kích hoạt đến hệ thống quan sát. Nhiều hình ảnh từ các góc camera khác nhau sẽ được thu thập và gửi đến hệ thống thị giác giác, nơi phần mềm VisionNavi đã xử lý các hình ảnh để kiểm tra khuyết tật, sau đó xác minh các tấm wafer. Khi hệ thống thị giác máy gửi tín hiệu “NG” thì các tấm wafer sẽ bị loại bỏ, còn nếu phát ra tín hiệu “OK” thì các tấm wafer sẽ được tiếp tục trong quy trình sản xuất. Dữ liệu hình ảnh đã được triển khai và tích hợp với cơ sở dữ liệu doanh nghiệp hiện tại của khách hàng.
Kiến trúc hệ thống
Thành phần giải pháp
Thành phần giải pháp
- IPC-220: Hệ thống máy tính công nghiệp nhỏ gọn với CPU Intel® Core i thế hệ thứ 6/7
- PCIE-1674E-AE: Card PCI Express GlgEVision 4 cổng
- PCIE-1730H: Card PCIe 32-Ch, 32 cổng Digital I/O
- QCAM-GM1440-073CE: Camera công nghiệp
Tại sao là Advantech?
Hệ thống kiểm tra thị giác máy của Advantech tích hợp global shutter, camera công nghiệp tốc độ cao, nền tảng điện toán đa kênh và phần mềm thị giác máy chuyên dụng để người dùng không cần phải lo lắng về việc chọn các sản phẩm tương thích. Phần mềm VisionNavi được thiết kế với giao diện dựa trên đồ họa và sơ đồ, nơi người dùng có thể dễ dàng hoàn thành việc phát triển và triển khai các ứng dụng kiểm tra dựa trên thị giác máy mà không cần bất kỳ kỹ năng lập trình nào.
/PCIE-1761H_3D _S20181009184206.jpg)
