コスト効率に優れたデータ収集（DAQ）でウェーハ検査を大幅に向上
2023/03/15
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概要
ウェーハ製造後、プローブステーションの役割は、ウェーハ上のダイを検査、試験、合格したものをパッケージングすることです。ダイのサイズがますます小型化する中で、この装置とプロセスは製造欠陥を効率的に検出するために不可欠です。ウェーハ上の高密度ダイを扱いたいプローブステーションの開発者は、自分たちの装置に適したデータ収集（DAQ）製品を慎重に選ぶ必要があります。
DAQNaviは、装置メーカーが新しいプローブステーションの開発をより迅速に完了するのを支援する、時間節約で使いやすいソフトウェア開発キットです。アドバンテックのDAQトータルソリューションは、マルチチャネル、高解像度、高速同期サンプリングを備えた3つのPCIEカードで構成され、低遅延のサンプリング間隔で複雑な検査範囲を提供します。このソリューションに使用されている新技術により、装置開発者は新しい機械をよりコスト効率よく構築することができます。
システム要件
アジア太平洋地域の半導体プローブ検査技術を専門とする開発者は、ウェーハダイ密度の増加と検査速度の向上という市場の需要に応えるため、従来の検査方法を改良し、4つのダイの同時検査から8つのダイの同時検査に改善する新しいタイプの機械を作成することを計画しました。
現在、4ダイプローブステーションを使用している顧客が使用しているDAQカードは、4チャンネルしかありませんでした。8ダイを同時にテストするためには、2枚の4ch DAQカードを使用する必要がありました。しかし、この方法では追加のPCI/PCIEスロットを占有し、プローブステーションのコストが増加します。既存のDAQカードの解像度は12ビットしかなく、より正確な電気信号測定を求める開発者のニーズを満たすことができなかったため、会社は以下の仕様を持つ新しいDAQソリューションを評価することに決めました。
1. DAQカード
- PCIEカードは、8つのダイを同時テストするために最低でも8ch アナログ入力を提供します。
- 16ビットの解像度により、サンプリング結果の精度が向上します。
- 各チャンネルのサンプリングレートは500kS/s以上です。
- ノイズを低減し、より正確なデータ収集を実現します。
- リトリガ機能により、次のダイ検査のためにDAQカードを再駆動します。
2. 他の関連製品
- アナログ出力PCIEカード（8+1ch、8はダイ用、1は機械制御用）
- 56ch TTLデジタル出力PCIEカード
- データ収集用ソフトウェア開発ツールは、プログラミング時間を削減します。
システム概要
アドバンテックのコスト効率の高いDAQトータルソリューションには、同時アナログ入力DAQカードPCIE-1841、アナログ出力PCIEカードPCIE-1824、デジタルI/O PCIEカードPCIE-1753、およびDAQNaviソフトウェア開発キットが含まれています。これにより、プローブステーション開発者は現在および将来のアップグレードニーズを便利なワンストップショッピング体験で満たすことができます。
PCIE-1753は、ウェーハがプローブステーションに投入されたときに検出する役割を果たします。ウェーハの位置と位置が正確に配置された後、PCIE-1824からアナログ信号が出力され、ダイを作動させます。その後、PCIE-1841がプロセスデータを収集し、データ分析のためにメインコンピュータに送信します。その後、PCIE-1753から信号が出力され、ウェーハの動きを制御して次の8つのダイを検査します。この工程を繰り返し、ウェーハ上のすべてのダイが検査されるまで行います。これら3つのPCIEカードは、使いやすいDAQNaviソフトウェア開発キットを介して制御および統合され、開発時間とコストを節約しました。
導入製品
システム構成図
まとめ
新製品の開発やアップグレードにおいて性能は機器開発者にとって非常に重要です。しかし、開発の時間とコストも、開発者が慎重に計画するために必要な重要な要素です。アドバンテックのコスト性能に優れたDAQトータルソリューションは、このプローブステーション開発者が検査速度を向上、サンプリング精度を高め、開発時間を短縮し、開発コストを削減することを可能にしました。
装置開発に必要な製品（モーション制御関連製品等）および広範なオプション要素を提供しています。ワンストップショッピングにより、追加要素の検索時間を節約し、装置メーカーが製品開発と顧客への納品に集中できるよう支援します。
